兆(zhào)聲波清洗機 型號：XM-500ZSB
核心(xīn)物理與(yǔ)清洗優(yōu)勢(shì)：
- 頻率極高，波(bō)長極短(duǎn)（通常(cháng)800kHz–3MHz），空(kōng)化(huà)氣(qì)泡極(jí)小(xiǎo)，極多，極均(jūn)匀，能量(liáng)溫和不衝擊。
- 無(wú)損清(qīng)洗：幾乎無(wú)強空化衝擊，零劃傷，零損傷(shāng)，保護(hù)超(chāo)薄(báo)晶(jīng)圓，低‑k介(jiè)質(zhì)，微(wēi)凸點(diǎn)，TSV等脆弱結(jié)構 。
- 納米(mǐ)級(jí)清潔能(néng)力(lì)：可(kě)穩(wěn)定去(qù)除(chú)0.1μm（100nm）以(yǐ)下(xià)亞微(wēi)米/納(nà)米顆粒(lì)，傳統(tǒng)超(chāo)聲做不到。
- 聲流主導(dǎo)，剪切力(lì)強：在表(biǎo)麵形成極薄聲學邊(biān)界層(céng)，強力剝離微顆粒(lì)，深孔/高深(shēn)寬(kuān)比結構也能(néng)洗幹淨。
- 均(jūn)匀性極佳：聲場分(fēn)布(bù)均匀，無(wú)熱點(diǎn)，無死(sǐ)角(jiǎo)，整槽/整(zhěng)片(piàn)晶圓清洗(xǐ)一致性好，良率高(gāo)。
- 效率(shuài)極(jí)高(gāo)：清洗(xǐ)時間大幅(fú)縮短（如(rú)10s達99.99%效率），產能提(tí)升。
主要(yào)功(gōng)能特點和(hé)技(jì)術(shù)參數：
1.新(xīn)款它(tā)激式(shì)綫(xiàn)路，頻率(shuài)自(zì)動跟(gēn)蹤(zōng)，工作穩(wěn)定可靠，較以前(qián)的自(zì)激(jī)式震蕩(dàng)綫(xiàn)路結(jié)構(gòu)在輸(shū)出功率(shuài)增加15%以(yǐ)上。
2.采(cǎi)用進口(kǒu)日本本多(duō)陶瓷(cí)片組裝換能器，電聲轉(zhuǎn)換(huàn)率高達98%以上。
3.采用IGBT大(dà)功率模(mó)塊控(kòng)製，輸出功率(shuài)強大，使超(chāo)聲(shēng)波使用壽(shòu)命大(dà)幅提高，並(bìng)有效保護(hù)換能(néng)器(qì)正常(cháng)工(gōng)作(zuò)。超聲(shēng)波發生器有(yǒu)頻率(shuài)微調的功能，調(tiáo)整範圍1%，換能效率達(dá)到(dào)最(zuì)大(dà)，在不同工況(kuàng)下都(dū)能達到最佳效果
4.采(cǎi)用高品(pǐn)質鈑金技術及(jí)新(xīn)式粘合技(jì)術(shù)和(hé)電路結構(gòu)的優化(huà)，使(shǐ)設備(bèi)的(dí)噪音(yīn)比常(cháng)規超(chāo)聲音(yīn)量低(dī)26個分貝(bèi)左右(yòu)。
5.超聲頻率(shuài)：2.4MHz，自(zì)適(shì)應（也(yě)可根(gēn)據需求選定其(qí)它(tā)頻(pín)率(shuài)）
6.超聲標(biāo)稱(chēng)功率：500W，功率可調，步(bù)進(jìn)10%，也(yě)可細化至步進(jìn)1%
7.時間(jiān)可調(tiáo)：0-999min
8.加(jiā)熱功率(shuài)：500W，溫(wēn)度(dù)可(kě)調(tiáo)：室溫(wēn)-80 ℃
9.清洗內槽尺寸(cùn)：400×250×150（mm），容量(liáng)：15升，外(wài)型(xíng)尺(chǐ)寸：540500400(mm)水槽(cáo)采(cǎi)用(yòng)316L優質不(bù)鏽鋼，厚度(dù)1.5mm,無(wú)縫焊(hàn)接。水槽(cáo)主體(tǐ)材(cái)質采用316型不(bù)鏽鋼(gāng)板(bǎn)，厚(hòu)度1.5mm,水槽無(wú)縫(féng)焊接，采用滿焊工(gōng)藝表(biǎo)麵光滑潔(jié)淨(jìng)，沒有衛生死角(jiǎo)，連接(jiē)管道(dào)也(yě)需采(cǎi)用316衛生(shēng)級不(bù)鏽(xiù)鋼(gāng)管及配件(jiàn)，連接采用活接方式。
10.采用7 寸高清液晶(jīng)顯示屏(píng)觸(chù)控操作(zuò)，PLC控製有50組(zǔ)以(yǐ)上的(dí)清洗程(chéng)序(xù)設(shè)定(dìng)，屏幕實時顯示時(shí)間(jiān)，溫度，功(gōng)率，運(yùn)行狀態倒計時顯示(shì)；
11.儀器(qì)具有(yǒu)超電(diàn)流(liú)，超電(diàn)壓，超溫報警功能，自動(dòng)進(jìn)水自動排水。